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談談真空燒結爐是怎樣操作的?

日期:2021-03-05 14:21:24點擊次數:767

  真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝,可進行真空燒結,氣體保護燒結及常規燒結,是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備,它設計構思新穎,操作方便,結構緊湊,在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理,真空釬焊等工藝。
  真空燒結爐是怎樣操作的?
  1、中頻電源、真空爐爐體、感應圈之冷卻水源——蓄水池之水必須充滿,水中不得有雜質。真空爐
  2、開動水泵,使其中頻電源,真空爐感應圈、爐體冷卻系統水循環正常,并調整水壓控制在規定值。
  3、檢查真空泵電源系統,皮帶盤皮帶松緊,真空泵油是否位于油封觀察孔中線。檢查妥后,人工轉動真空泵皮帶盤,如無異常,可在關閉蝶閥的情況下,啟動真空泵。
  4、檢查真空爐體內情況,要求真空爐體內一級衛生,感應圈絕緣良好,密封真空膠帶具有彈性,尺寸合格。
  5、檢查真空爐體的杠桿手把啟動是否靈活。
  6、檢查轉動式麥氏真空計是否合乎要求。
  7、檢查石墨坩堝,裝爐配件是否齊全。
  8、在以上準備就緒后,接通電源,中頻電源合閘,按中頻啟動規則,試啟動變頻,成功后停止變頻,方可開爐。
  9、真空爐體上蓋的觀察、測溫孔,每次開爐均需清潔處理,以便觀察和測溫。
  10、裝爐時應根據不同燒結產品,采取相應裝爐方式。按有關材質裝爐規則裝盤,不得隨意更改。
  11、為了保持恒溫,防止熱輻射,發熱坩堝上加二層碳纖維,再罩上隔熱屏。
  12、墊好真空密封膠帶。
  13、操作杠桿手把,轉動真空爐頂蓋與爐體密切重合,放下頂蓋,并鎖好固定螺母。
  14、徐徐打開蝶閥,抽爐體空氣,至真空度達到規定值。
  15、在真空度達到規定要求后,開始啟動變頻,調整中頻功率,按有關材質的燒結規定操作;升溫、保溫冷卻。
  16、燒結完畢后,停止變頻,按停止變頻開關,逆變停止工作,斷開中頻電源分閘與斷開電源總閘。
  17、從爐體觀察孔觀察爐膛發黑后,先關閉真空泵蝶閥與斷開真空泵電流,再接自來水繼續冷卻感應圈和爐體,停水泵。
  18、中頻電壓750伏有觸電危險。在整個操作和檢查過程中,要注意操作安全,不要用手接觸中頻電柜。
  19、在燒結過程中,隨時從爐體側面觀察孔觀察感應圈是否發生放弧現象,如發現異?,F象,應立即報告有關人員處理。
  20、啟動真空蝶閥應緩慢,否則會因抽氣過急而冒油,帶來不良后果。
  21、正確使用轉動式麥氏真空計,否則會造成真空讀數誤差或因操作過急而使水銀溢出造成公害。
  22、注意真空泵皮帶盤安全運行。
  23、在墊真空密封膠帶,蓋爐體頂蓋時,注意防止壓手。
  24、凡在真空條件下,容易揮發影響真空衛生,造成管道堵塞、真空泵臟化的工件或容器,不得入爐。
  25、凡產品加有成型劑(如油或石蠟),必須脫掉方可入爐燒結,否則會造成不良后果。
  26、全部燒結過程中,要注意水表壓力范圍和冷卻水循環,以免發生事故。

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